展芯芯片分析实验室FIB/SEM(离子束/电子束)双束机台开始试运营!
(http://www.szicc.net/function/test/ica/ica_fib.htm)
机台型号为FEI DualBeam 820,是大陆地区第一台投入商业服务的Dual-Beam双束机台,最精准分辨率高达7nm,微线路修改最高制程可达0.13um,支持8英寸wafer,可同时提供FIB聚焦离子束切割修改与SEM电子束影像观察。
机台主要应用范围:微线路修改(切断与连接),Cross-Section纵向解剖、Voltage Contrast 即VC电位对比测试(判断metal, poly, contact, via之open/ short )。
深圳IC基地所有入孵企业均可享受展芯FIB实验室特殊价格优惠。
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